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隨著半導體進入到快速開展的階段，相應的加工檢測設備也會逐步的進步功能，所以有許多的公司都會用到氣浮運動臺，這是一款高精度的設備，首要作用于半導體加工、檢測，微納加工，測驗丈量等，可是它到底有哪一些首要的優勢。

高直線度和平面度

高定位精度和重復定位

運動速度平穩

納米級微動步距

氣浮運動臺的高直線度和平面度依賴于氣浮導軌，材質分為鋁合金、大理石及碳化硅陶瓷等，研究其高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節流器、均壓槽深度等，找到了較優氣膜剛度時的參數區間有著超卓的功能精度，實現較大速度2米/秒，可以擁有4G的加速度，并且承載的能力也非常的超卓，所以在現在的市場上已經逐步得到我們的認可，只是當我們在挑選設備時，或許也會存在許多的疑問，比如說要挑選哪種材質的氣浮導軌。

其實材質的挑選是跟用戶的使用有著緊密的聯系，單從性價比角度了解，碳化硅陶瓷材質的氣浮運動臺精度高，當然本錢也昂貴，鋁合金與大理石材質的相同功能比較，鋁合金的加工難度大些，本錢較高，大理石的本錢較便宜些。

利用的直線電機驅動，挑選無鐵芯設計，特點是無齒槽效應，高動態功能及電流噪音小等，所以在運動的過程中可以實現超平穩的效果，別的配置光柵尺閉環反饋的控制系統，取得高定位精度和重復定位精度，控制器對光柵尺較大65536倍細分，取得納米級微動步距。

所以從各個方向的優勢來看，氣浮運動臺已經成為當時從事高精密使用職業的挑選，可以進步整個系統的精度功能。