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氣浮平臺的構成說明

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氣浮渠道是光刻機貼片機等電子制作設備的首要工作機構。伴隨著電子產品的出產,產品的體積越來越小,對精度的要求越來越高。所以,高精度、高穩定性的移動渠道對于電子設備的發展有著無足輕重的效果。別的,微電子體系制作和測驗、光學丈量加工、超精細加工、航空發動機丈量制作等領域都離不開精細定位技術。由于空氣軸承精度比滾動軸承高兩個數量級,且精度高,摩擦系數小,工作環境極限,選用氣浮臺方案是精細運動渠道設計的理想挑選。


氣浮渠道分為氣浮直線渠道與氣浮轉臺,由氣浮導軌或氣浮軸承導向,直驅電機驅動及光柵尺閉環反應組成氣浮渠道。直驅運動不存在中心傳動環節,提高渠道的全體精度,運轉速度平穩。負載慣量和體系帶寬相對較大,有良好的動態特性。


基于空氣軸承的基本原理,完成無摩擦和無振蕩的平滑移動。它具有運動精度高、清潔無污染等特點。同時還具有差錯均化效果,來獲得較高的導向精度。氣浮導軌在丈量設備、精細機械中得到了廣泛的使用。氣浮渠道在氣體光滑的體現上看,承載才能、氣體流量均有超常規體現,特別是關鍵的性能指標位移精度上,相對于傳統導軌有著成數量級的明顯優勢,精細機械、丈量儀器等領域使用氣浮導軌是行業發展的必然趨勢。


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